
RK3588+FPGA EtherCAT硬实时方案|半导体晶圆天车OHT超高精度同步运动控制实现
摘要:本文提出基于RK3588+FPGA异构硬实时架构的半导体OHT天车运动控制方案,解决进口控制器成本高、定制难及传统Linux方案实时性不足的问题。系统采用ARM主控(RK3588)处理AI决策与业务逻辑,FPGA实现EtherCAT微秒级硬实时多轴同步控制,通过软硬隔离确保125μs周期精度和±0.01mm定位要求。方案整合6TOPS NPU算力实现故障预判,相比进口设备降低成本40%以上,适配晶圆厂高精度、高稳定转运需求,是半导体装备国产化替代的优质解决方案。 关键词:RK3588、FPGA、Eth



























